静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板

摘要

本发明提供一种静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板，其通过将基材予以轻量化且强度化，借此维持基材的平坦度，并防止被加工板体的落下等，并且能够对于被加工板体进行高速且高质量的处理。静电夹盘1具备有基材2、及静电吸附层3。基材2由底面板20、侧面板21至24、以及顶面板25所形成，且在基材2的内部构成有多巢构造部4。多巢构造部4为通过正六角形筒状体40所成的蜂巢构造体，而谋求基材2的轻量化、及强度化。静电吸附层3为利用介电体31、及吸附电极32所构成，且利用接着材30接着在基材2上表面。介电体31为将表面设为玻璃基板W的吸附面的介电体，且在内部收纳吸附电极32。