法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-22
授权
授权
2015-10-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/20 申请日:20150619
实质审查的生效
2015-10-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/20 申请日:20150619
实质审查的生效
2015-09-23
公开
公开
2015-09-23
公开
公开
机译: 图像拾取装置的旋转误差测量方法,使用该方法的调整方法或测量方法,由此测量的使用旋转误差的位置测量设备以及由此配备的曝光设备
机译: 延迟线阶跃误差的测量方法,延迟线长度的测量方法以及延迟线阶跃的误差的测量装置
机译: 建筑物安装误差测量仪,地板面水平误差测量方法以及墙面或并置支柱的对准误差测量方法