在扫描电镜中对纳米液体样品的透射散射成像装置及方法

摘要

在扫描电镜中对纳米液体样品的透射散射成像装置及方法属于电子显微分析装置技术领域，尤其涉及在扫描电镜SEM中对纳米液体样品的反射和透射散射成像技术领域，其特征在于，在SEM样品室内，在纳米液体样品的薄窗口正下方5mm～10mm处，安装一个透射散射电子探测器TSD，在入射电子能量为15keV～30keV的条件下，对密封液体中几nm～500nm的纳米颗粒形成分辨率为几nm、放大倍率为×50～×100000及像衬度好的透射散射电子像，TSD探测器适于安装在各类SEM中，与二次电子探测器ETD、能谱仪EDS和阴极荧光谱仪CL协同使用，观测金属、半导体、无机、有机、复合物、生物等类纳米材料。