一种基于电热效应的直线驱动MEMS引信安保装置

摘要

一种基于电热效应的直线驱动MEMS引信安保装置，包括单晶硅衬底，在单晶硅衬底依次制作二氧化硅绝缘层以及单晶硅结构层，单晶硅衬底制作有矩形加速膛孔，在单晶硅结构层中制作两个锁死电热执行器、四个推动电热执行器以及一个隔断机构，其中隔断机构中的隔板将加速膛孔遮挡，在对两个锁死电热执行器施加电压解锁的状态下，先后分别对四个推动电热执行器施加电压，在相应的工作电压下杠杆放大机构将电热执行器产生的热变形放大并以此推动隔断机构中的驱动块完成相应的位移动作，经过先后四次的位移累加，最终使隔板与加速膛孔完全错开，完成引信的解除保险动作，本发明具有低成本、高智能、易集成的特点。