位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法

摘要

本发明提供一种位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法，并且，在对定位对象物进行拍摄来对距基准位置的位移进行检测的技术中，提供一种能够从一个拍摄方向进行拍摄来对定位对象物的位移进行检测，并且拍摄单元的配置的自由度高的技术。为了检测在接近或远离照相机(72)的方向上移动的喷嘴的位移，将照相机的拍摄方向设为与喷嘴(53)的移动平面相交的斜方向。在所拍摄的图像(IM)上，喷嘴(53)的位移反映为上下方向上的移动，通过图案匹配处理在图像内检测喷嘴(53)的位置，由此能够检测出具有图像的深度方向的分量的喷嘴(53)的位移。