非零位检测凹抛物面镜的部分补偿透镜体系与设计方法

摘要

本发明公开了一种非零位检测凹抛物面镜的部分补偿透镜体系与设计方法。本发明由多个部分补偿透镜组成，总补偿范围覆盖常用被测抛物面镜参数；设计方法包括：对F数小于1.2的被测抛物面镜计算部分补偿透镜初始结构；设定约束条件，在检测路模型中优化部分补偿透镜结构参数；改变被测抛物面镜参数，调整被测抛物面镜与部分补偿透镜之间的距离确定被测抛物面镜参数边界，做出补偿范围D‑R图；对不可补偿区中F数小于1.2的被测抛物面镜设计新的部分补偿透镜，直至多个部分补偿透镜覆盖常用被测抛物面镜参数范围；筛选多个部分补偿透镜构建补偿能力数据库。本发明解决了部分补偿透镜补偿范围分析和体系设计问题，实现了抛物面镜的通用化检测。