法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-29
授权
授权
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C06B 25/34 申请日:20160304
实质审查的生效
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C06B 25/34 申请日:20160304
实质审查的生效
2016-07-27
公开
公开
2016-07-27
公开
公开
机译: 对内部应力敏感度降低的微机械和/或纳米机械结构的平面外铰链
机译: 应力敏感度降低的微机械多轴陀螺仪
机译: 对热机械应力敏感度降低的半导体材料封装器件