一种针对大面积超光滑表面的气液固三相磨粒流抛光装置

摘要

本发明公开了一种针对大面积超光滑表面的气液固三相磨粒流抛光装置，包括装有抛光液的承载箱体、平移装置、旋转支撑平台和升降装置，承载箱体底部固定有工件装夹盘，被抛光工件被装夹在箱体底部的工件装夹盘上，抛光液充入箱体并浸没被抛光工件，平移装置包括平移驱动电机、线性模组和超声波发生器，平移装置固定在旋转支撑装置上，旋转支撑装置固定在升降装置上；本发明通过现行模组的进给，有效的控制了抛光的有效面积；通过旋转支撑平台为超声波发生器提供了速度可控的回转运动；通过升降装置有效的控制了超声波发生器与工件表面的间隙高度；该方案便于试验操作和处理，其控制方法准确度高、适用面广。