一种工业化大规模生产碳化硅粉体的方法

摘要

一种工业化大规模生产碳化硅粉体的方法，涉及高纯SiC粉体的一种工业化规模生产方法。本发明选择卤硅烷或者硅烷作为原始硅源，采用分段加热的方法，特别是采用研磨工艺，使得混合物混合更加均匀。本发明还利用定向凝聚对产品进行偏析提纯，使得生产过程的污染较小；采用了前体水解和高温碳化相结合的方法，使得硅粉和碳粉能够均匀混合，从而保证最终产物较好的均一性。