一种准分子激光旋转刻蚀快速制作有机玻璃曲率可调微透镜的方法

摘要

一种准分子激光旋转刻蚀快速制作有机玻璃曲率可调微透镜的方法，属于微光学器件及激光先进制造技术领域。该加工系统主要由计算机、激光器、激光匀束器、掩膜及掩膜调换台、聚焦物镜、同轴观察系统、旋转台及微移动工作台组成，通过进行掩膜设计、加工系统的光路及旋转台轴心校准等准备工作，然后进行掩膜投影旋转刻蚀的方法来加工有机玻璃PMMA来获得圆形度较好的微透镜，其中掩膜孔的形状和尺寸由待加工微透镜的参数来进行设计。本发明用来加工制作微透镜或微透镜阵列，具有非接触、热效应影响小、低成本、高效率、高精度、微透镜的曲率可调控、可重复性强等优点。