公开/公告号CN104541362B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-01
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201380040767.0
申请日2013-07-25
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:59:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-01
授权
授权
2015-08-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20130725
实质审查的生效
2015-08-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20130725
实质审查的生效
2015-04-22
公开
公开
2015-04-22
公开
公开
机译: 利用远程等离子体源在较低温度下选择性氧化的装置和方法
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