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可自调谐的全固态微波源MPT、自调谐装置及控制方法

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摘要

本发明提供了一种可自调谐的全固态微波源MPT、自调谐装置及控制方法，微波等离子体炬（4）包括耦合天线（5）、调节件（6），装置包括微波源，控制模块（2），传动装置（3）。所述微波源与所述耦合天线（5）相连，调节件（6）与所述传动装置（3）相连，所述传动装置（3）与控制模块（2）相连，所述控制模块（2）与所述微波源相连。其中，所述微波源产生微波电磁场为微波等离子体炬（4）提供微波能，同时从耦合天线（5）获取微波等离子体炬（4）的反馈信息，微波源将反馈信息中的反射功率值提取出来并反馈给控制模块（2），控制模块依据反射功率值以及预设的参数关系曲线向所述传动装置（3）发出控制信号，传动装置（3）带动调节件（6）移动。

著录项

  • 公开/公告号CN104460703B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-07-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江全世科技有限公司;

    申请/专利号CN201410726605.9

  • 发明设计人 金伟;于丙文;朱旦;金钦汉;叶莹;徐星;王熙星;

    申请日2014-12-04

  • 分类号G05D3/12(20060101);G01J3/02(20060101);

  • 代理机构31236 上海汉声知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡晶

  • 地址 310053 浙江省杭州市滨江区六和路368号一幢(北)三楼B3155室

  • 入库时间 2022-08-23 09:59:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-22

    专利权的转移 IPC(主分类):G05D 3/12 登记生效日:20190104 变更前: 变更后: 申请日:20141204

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-07-21

    授权

    授权

  • 2017-07-21

    授权

    授权

  • 2017-01-18

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G05D3/12 登记生效日:20161229 变更前: 变更后: 申请日:20141204

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-01-18

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G05D 3/12 登记生效日:20161229 变更前: 变更后: 申请日:20141204

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-01-18

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G05D 3/12 登记生效日:20161229 变更前: 变更后: 申请日:20141204

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D3/12 申请日:20141204

    实质审查的生效

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 3/12 申请日:20141204

    实质审查的生效

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 3/12 申请日:20141204

    实质审查的生效

  • 2015-03-25

    公开

    公开

  • 2015-03-25

    公开

    公开

  • 2015-03-25

    公开

    公开

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