光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法

摘要

光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法涉及光学薄膜及元件的激光损伤与寿命测试领域应用，该方法以He‑Ne光散射探测法作为主要探测方法，以显微CCD成像探测法作为辅助探测方法，针对每一个测试样品点，首先采用He‑Ne光散射探测法作为光学薄膜及元件表面激光损伤判别的依据，若He‑Ne光散射探测法的结果显示光学薄膜及元件表面发生损伤，则暂停He‑Ne光散射探测法，记录辐射激光的脉冲数，然后利用显微CCD成像探测法的结果对He‑Ne光散射探测法的结果进行确认，之后采用相同方法测试下一个测试点，进而完成整个表面激光损伤的探测。本发明将He‑Ne光散射法和显微CCD探测法有效结合起来，可以极大提高光学薄膜及元件表面激光损伤在线探测的灵敏度和可靠性。