法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/42 授权公告日:20060517 终止日期:20150328 申请日:20020328
专利权的终止
2006-05-17
授权
授权
2004-10-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-04-02
公开
公开
机译: 光致抗蚀剂油墨可除去组合物和使用该可除去光致抗蚀剂的方法
机译: 感光性树脂组合物,使用该感光性树脂组合物的感光性树脂组合物,固化物的除去方法,印刷线路板的光学制造方法以及抗蚀剂图案的形成方法
机译: 光致抗蚀剂组合物,光致抗蚀剂涂层,蚀刻的光致抗蚀剂涂料,制造蚀刻Si的层的方法,以及使用该蚀刻层的方法