感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件

摘要

本发明涉及感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种感光性聚硅氧烷组成物，包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、每分子具有至少含有六个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)，及溶剂(D)；由该感光性聚硅氧烷组成物所形成的保护膜具有良好的感度。