具有非均匀成分的磁性薄膜盘

摘要

描述了一种影响薄膜成分变化的方法。通过沿着衬底表面产生非均匀电场来操纵溅射系统中的元素等离子体场分布，以通过有差别地重新溅射目标元素来改变成分。非均匀电场由一个或多个与导电表面接触的电极或者通过使用RF偏压信号来施加。非均匀电场用来调节撞击薄膜表面的在等离子体中产生的离子的动能。由于溅射气体离子和中性粒子的动能和质量影响重新溅射速率，因此非均匀电场有差别地影响根据质量正在沉积的元素。通过在衬底的导电表面上的多个点施加不同电势，可以以多种模式调节衬底表面上的电场。例如，电场可以沿着盘的圆周和/或半径方向变化。在优选实施例中，将径向电压梯度施加于正在其上形成磁性薄膜的盘的导电表面，以在径向上调节磁性薄膜的铂含量。调节径向铂含量反过来又调节径向矫顽磁性。