高级硅烷的制造催化剂及高级硅烷的制造方法

摘要

本发明提供在比较低的温度下进行反应，抑制向固体硅的分解，同时用于以低成本高收率地制造高级硅烷的催化剂，以及采用该催化剂的高级硅烷的制造方法。一种高级硅烷的制造催化剂，是包含多孔质氧化物的、用于从低级硅烷转变为高级硅烷的催化剂，该多孔质氧化物至少具有规则地排列的细孔，主要由硅氧化物构成，并且，碱金属和碱土金属的含量为0.00重量％以上2.00重量％以下。