单狭缝空间载波剪切散斑干涉测量系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种单狭缝空间载波剪切散斑干涉测量系统及测量方法，其特征是：激光器出射的激光经过扩束镜之后以扩散光的形式照射被测物，被测物的表面漫反射光依次经过成像镜头、狭缝光阑、4f系统以及迈克尔逊型装置投射在CCD相机的靶面上。本发明可以对被测物表面的缺陷和应力形变进行无损、全场、快速、动态测量，且便于现场测量。