用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法

摘要

一种用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置，包括：斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本发明在被测45度平面镜上方加入反射镜，使光原路返回，对45度平面镜进行子孔径拼接干涉测量，采用变权重法对子孔径面形数据进行拼接，得到全口径面形。本发明具有：1，操作简易，45度平面镜镜面不易变形，测量精度高；2，子孔径面形数据采用变权重数据融合拼接，精度高；3，通过改变第一标准镜和第二标准镜的反射率，既可以测量未镀膜面，也可以测量高反面，均有较高的干涉对比度的优点。