具备自动温度补偿的高功率激光器扩束镜系统

摘要

一种具备自动温度补偿的高功率激光器扩束镜系统，可依据扩束腔温度实时调节各透镜间距，有效保证激光器使用过程中的光束稳定性（扩束后的光斑直径及其平行度）。它包括温度传感器，直线轴承，扩束透镜，电磁铁及弹簧，控制系统等核心部件，可实时检测腔体温度并对环境或激光器发热导致的腔体变形进行补偿，进而稳定扩束透镜之间的距离，本发明能显著提高扩束系统的扩束精度以及光束稳定性，且控制精度以及自动化程度极高。