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反射镜装置、光幕、反射镜装置的调节方法及装配方法

摘要

本申请公开了一种反射镜装置(20;130,140),包括用于偏转入射光的镜系统(30,50;132,142)。所述镜系统(30,50;132,142)包括:V镜单元(30;132),包括具有两个镜反射表面(38,39)的V形镜(36,37);以及平面镜单元(50;142),布置在与所述V镜单元(30;132)相距一距离处。所述V镜单元(30;132)包括V镜调节机构,用于调节所述V形镜(36,37)的两个镜反射表面(38,39)之间的角度。还公开了一种光幕、反射镜装置(20;130,140)的调节方法和反射镜装置(20;130,140)的装配方法。

著录项

  • 公开/公告号CN104111514B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-06-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德国欧姆龙电子制造有限公司;

    申请/专利号CN201410155864.0

  • 发明设计人 迈克尔·贝斯勒;尤金·格鲁斯卡;

    申请日2014-04-17

  • 分类号

  • 代理机构隆天知识产权代理有限公司;

  • 代理人张浴月

  • 地址 德国努菲林根

  • 入库时间 2022-08-23 09:57:33

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-23

    授权

    授权

  • 2014-11-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 7/182 申请日:20140417

    实质审查的生效

  • 2014-10-22

    公开

    公开

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