用于带有热控元件阵列的ESC的功率切换系统

摘要

本发明公开了用于带有热控元件阵列的ESC的功率切换系统。具体而言，用于在等离子体处理腔室中支撑半导体衬底的半导体衬底支撑件包括：加热器阵列，其包括热控元件，所述热控元件可操作以调节所述半导体衬底上的空间温度分布，所述热控元件限定加热器区域，每个所述加热器区域由两个以上功率供给线路和两个以上功率返回线路供电，其中每个功率供给线路与所述加热器区域中的至少两个连接并且每个功率返回线路与加热器区域中的至少两个连接。功率分配电路与衬底支撑件的底板配合，功率分配电路与加热器阵列的每个功率供给线路和功率返回线路连接。切换装置与功率分配电路连接以通过多个开关的时分多路复用来向每个加热器区域独立地提供时间平均功率。