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使带电粒子偏转的偏转板和偏转装置

摘要

用于使带电粒子偏转的偏转板具有非平面的形状。

著录项

  • 公开/公告号CN104396351B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-06-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西门子公司;

    申请/专利号CN201280073627.9

  • 发明设计人 P·S·阿普塔克;P·比斯利;O·海德;

    申请日2012-05-31

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人张涛

  • 地址 德国慕尼黑

  • 入库时间 2022-08-23 09:57:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-22

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H7/00 授权公告日:20170609 终止日期:20190531 申请日:20120531

    专利权的终止

  • 2017-06-09

    授权

    授权

  • 2017-06-09

    授权

    授权

  • 2015-04-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05H7/00 申请日:20120531

    实质审查的生效

  • 2015-04-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 7/00 申请日:20120531

    实质审查的生效

  • 2015-03-04

    公开

    公开

  • 2015-03-04

    公开

    公开

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