激光诱导双腔微泵及其流体微泵驱动方法

摘要

本发明公开了一种激光诱导双腔微泵，其包括具有内腔的泵体、与泵体连接并将内腔分隔为驱动腔和泵腔的弹性的泵膜、插入充满驱动液的所述驱动腔内部的光纤、设于泵体并与所述泵腔连通控制流体单向进入泵腔和单向流出泵腔的单向流动控制装置。该微泵具有毫秒级反应时间、泵膜的频率和幅度可以精确控制；能量利用率高，可实现无线和远程控制，泵膜的寿命长，泵送工作液种类无限制，为解决微流体的驱动问题提供了一种全新思路。该微泵可以广泛应用于药物的微量注射、微流控系统，生物分析、微量化学分析与检测、微电子设备冷却等领域。本发明还公开了一种将激光诱导双腔微泵用于驱动流体单向流动的流体微泵驱动方法。