公开/公告号CN104781650B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-20
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201380060029.2
申请日2013-10-24
分类号G01N21/17(20060101);G01B11/24(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:57:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-20
授权
授权
2015-11-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/17 申请日:20131024
实质审查的生效
2015-07-15
公开
公开
机译: 高纵横比和大型横向尺寸结构的计量系统和方法
机译: 具有高纵横比和大横向尺寸的结构的测量系统和方法
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