法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
授权
授权
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 3/00 申请日:20140818
实质审查的生效
2015-04-15
公开
公开
机译: 光学薄膜及其制造方法,包括光学薄膜的光学多层膜,光学部件,曝光装置以及包括具有光学膜的光学部件的曝光方法
机译: 利用包括这样的图像形成光学系统和图像形成光学系统的用于微光刻的投射曝光装置来形成微结构部件的方法以及这种投射曝光装置。
机译: 图像形成光学系统的评价方法,图像形成光学系统的调整方法,曝光装置,曝光方法以及装置的制造方法