脉冲射频电源的阻抗匹配方法及等离子体设备的匹配方法

摘要

本发明涉及脉冲射频电源的阻抗匹配方法及等离子体设备的匹配方法，脉冲射频电源的阻抗匹配方法包括S1，设定阻抗可调元件位于预设数值及脉冲射频电源的脉冲频率为预设脉冲频率；S2，判断预设脉冲频率是否大于脉冲阈值频率，若是，进入S3；若否，进入S4；S3，使脉冲射频电源的脉冲频率等于脉冲阈值频率，开启脉冲射频电源，且在其自动射频扫频功能下来实现扫频匹配，在匹配后使脉冲射频电源的脉冲频率切换为预设脉冲频率；S4，开启脉冲射频电源，且在其自动射频扫频功能下来实现扫频匹配。脉冲射频电源的阻抗匹配方法可以降低射频电源实现阻抗匹配的难度，因而可以提高脉冲射频电源的匹配精度和匹配的稳定性，从而提高工艺的稳定性。