具有无结垂直栅晶体管的半导体器件及其制造方法

摘要

一种无结垂直栅晶体管，包括：有源柱体，所述有源柱体从衬底垂直地突出，并包括第一杂质区、在所述第一杂质区之上顺序地形成的第二杂质区和第三杂质区；栅电极，所述栅电极耦合到所述第二杂质区的侧壁；以及位线，所述位线沿着与所述栅电极相交的方向排列，且每个与所述第一杂质区接触。所述第一杂质区、所述第二杂质区、所述第三杂质区包括相同极性的杂质。