具有间隙控制几何形状的声换能器以及声换能器制造方法

摘要

优选实施方案的换能器包括衬底和多个相邻的锥形悬臂梁。每个梁界定了梁基部、梁尖部以及设置在梁基部和梁尖部之间的梁主体。梁被布置成使得每个梁尖部朝向共同区域延伸。每个梁沿着梁基部接合至衬底并且沿着梁主体与衬底分离。制造换能器的优选方法可包括：在方框中将交替的压电层和电极层沉积在衬底上，在方框中处理沉积层以界定悬臂几何形状，在方框中沉积金属迹线，以及在方框中从衬底释放悬臂梁。