离轴薄壁非球面光学零件的超精密加工装置及其加工方法

摘要

本发明公开了一种离轴薄壁非球面光学零件的超精密加工装置及其加工方法，步骤1、光学零件设置在楔角工装内，光学零件的底平面与楔角工装的凹槽顶面相互贴合，并使得光学零件非球面垫平；步骤2、在光学零件的通孔处垫入垫片；步骤3、在光学零件外圆壁与楔角工装顶面之间安装垫圈；步骤4、铣磨机同步铣磨光学零件、垫片和垫圈，铣磨出该光学零件的非球面；步骤5、抛光机对光学零件的非球面、垫片及外圆处的垫圈进行抛光。本发明巧妙的利用楔角工装、垫片及垫圈，精准地加工出离轴薄壁非球面光学零件，解决了离轴薄壁非球面光学零件难加工的问题。