法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 53/56 授权公告日:20060621 终止日期:20091030 申请日:20040930
专利权的终止
2006-06-21
授权
授权
2005-07-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-05-11
公开
公开
机译: 微波等离子体装置具有增强的氮氧化物选择性和使用该氮氧化物制备含氮水的方法
机译: 通过等离子体增强原子层沉积形成含氮氧化物薄膜的方法
机译: 通过等离子体增强原子层沉积形成含氮氧化物薄膜的方法