法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-17
专利权的转移 IPC(主分类):H02G 5/06 登记生效日:20191128 变更前: 变更后: 申请日:20110608
专利申请权、专利权的转移
2017-05-24
授权
授权
2017-05-24
授权
授权
2014-04-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H02G5/06 申请日:20110608
实质审查的生效
2014-04-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H02G 5/06 申请日:20110608
实质审查的生效
2014-02-05
公开
公开
2014-02-05
公开
公开
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机译: 包括具有不同导电性的区域的载体衬底以及使用该衬底的器件衬底的处理方法
机译: 用于对初始衬底进行激光处理以制备太阳能电池(最好是半导体晶片)的激光处理设备包括激光器,位于激光束路径中的面板系统和成像系统
机译: 激光处理装置,基板处理系统,激光处理方法以及基板处理方法