公开/公告号CN1236361C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN200310115973.1
发明设计人 郭永飞;
申请日2003-12-25
分类号G03F7/20(20060101);G02B5/02(20060101);G06F9/00(20060101);
代理机构22001 长春科宇专利代理有限责任公司;
代理人梁爱荣
地址 130031 吉林省长春市东南湖大路16号
入库时间 2022-08-23 08:58:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-02-24
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-01-11
授权
授权
2005-02-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-12-15
公开
公开
机译: 用于保持感光性树脂板的紫外线曝光的装置以及装有该装置的曝光机
机译: 基于数字微阵列的紫外线曝光机及其控制方法
机译: 用于制造伦琴式自动曝光机的自动曝光装置的辐射测量装置的电路装置