公开/公告号CN103489808B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201310432063.X
申请日2013-09-22
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陆花
地址 201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:55:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-10
授权
授权
2014-02-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130922
实质审查的生效
2014-01-01
公开
公开
机译: 自动缺陷分类的缺陷检查方法及其系统和缺陷区域检测方法
机译: 基于频率的机器检测方法和装置对硬碟缺陷区域的检测和分类
机译: 基于能够降低缺陷率的Zigbee通信的冲击桩通过缺陷分类算法的缺陷检测装置和缺陷检测方法