法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-11-04
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-05-10
授权
授权
2005-05-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-16
公开
公开
机译: 氧化锌(ZnO)基单晶的制造方法,ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,以及ZnO基单晶薄膜和包含该ZnO基单晶薄膜的ZnO基材料
机译: 氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
机译: 生产ZNO单晶的过程,自持的ZNO单晶硅片,含MG的ZNO混合单晶的自支撑硅片,以及含MG的含ZNO的单晶混合的过程