液滴喷出头的驱动装置及驱动方法和制膜装置及制膜方法

摘要

本发明提供一种液滴喷出头的驱动装置、制膜装置、液滴喷出头的驱动方法、制膜方法以及电子机器和器件的制造方法，该液滴喷出头的驱动装置，可以抑制压电振动子的劣化，可从液滴喷出头长期稳定地喷出液滴。该液滴喷出头的驱动装置，包括由规定驱动波形伸缩的压电振动子(20)、作为驱动控制装置的驱动控制电路(10)、驱动波形产生电路(30)。驱动控制电路(10)，根据由驱动波形产生电路(30)所产生的波形，生成由没有尖锐边缘的曲线波形构成的驱动波形，驱动压电振动子(20)。