四自由度压电微夹钳钳指输出位移与输出力的自感知方法

摘要

本发明公开了四自由度压电微夹钳钳指输出位移与输出力的自感知方法，优点是通过本方法来获得钳指的输出位移与输出力，可省掉传统微装配与微操作系统中用来检测钳指输出位移与输出力的外部微位移与微力传感器，大大减小了基于四自由度压电微夹钳的微装配与微操作系统的重量与体积、促进系统的集成化与微型化，降低了系统的成本。