法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 5/00 授权公告日:20170426 终止日期:20180209 申请日:20150209
专利权的终止
2017-04-26
授权
授权
2017-04-26
授权
授权
2015-06-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L5/00 申请日:20150209
实质审查的生效
2015-06-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 5/00 申请日:20150209
实质审查的生效
2015-05-27
公开
公开
2015-05-27
公开
公开
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机译: 用于致动工作台相对于具有高精度定位能力的平台移动的致动装置,致动系统和方法
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