测量固体表面速度变化的光干涉仪

摘要

一种测量固体表面速度变化的光干涉仪。仪器中设置两条长短不同的光路系统，光源发出的光分别经过它们，以时间差τ值先后射到被测表面，当它们从表面返回干涉系统时，应用光的偏振特性，使之各自经过与入射光路长短相反的路径到达光电探测器，于是消除时间差τ而实现等光程干涉，干涉条纹的变化正比于表面速度的变化。测速变化范围３ｍ／ｓ－１０００ｍ／ｓ，本发明具有量程大，成本低，使用方便的优点。