法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
授权
授权
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/30 申请日:20131025
实质审查的生效
2014-05-07
公开
公开
机译: 用于在/从工件上沉积或去除层的方法和装置,用于分析预期层厚度的分析方法和装置,用于建立这种分析方法或装置以及诸如数据库的数据库的方法
机译: 用于在/从工件上沉积或去除层的方法和装置,用于分析预期层厚度的分析方法和装置,用于建立这种分析方法或装置的数据库以及诸如此类的数据库的方法
机译: 数据库分析程序,数据库分析方法和数据库分析装置