改性环氧丙烯酸酯、光阻组合物及其制备方法和透明光阻

摘要

本发明涉及光阻技术领域，特别是涉及一种改性环氧丙烯酸酯及其制备方法，一种光阻组合物及其制备方法和由该光阻组合物形成的一种透明光阻。所述改性环氧丙烯酸酯为磷酸酯单体改性的环氧丙烯酸酯，所述磷酸酯单体改性的环氧丙烯酸酯的结构式如式I所示，在式I中，n选自1～21任一整数，R为短碳链羧酸酯基。由于磷酸酯基可以与衬底中的多价金属反应，以共价键的形式将改性环氧丙烯酸酯牢固连接到衬底上，因此，大大提高了固化膜的附着能力，进而提高透明光阻的保护作用。