衍射光栅非规则激光焦斑图像自适应聚焦方法及聚焦装置

摘要

本发明提供一种衍射光栅非规则激光焦斑图像自适应聚焦方法，包括以下步骤：1】通过CCD采集一幅衍射光栅非规则激光焦斑图像到计算机；2】将步骤1中采集到的非规则激光焦斑图像进行图像形心位置计算：3】将步骤2中计算的衍射光栅非规则激光焦斑图像的形心位置与CCD靶面中心位置进行比较；4】用CCD重新采集一幅图像到计算机；5】计算步骤4采集到的衍射光栅非规则激光焦斑图像对应的有效二值图像；6】计算并保存步骤5所得图像的长短轴长之间的差值；7】将之前获得的两副图像的长短轴的差值进行比较；8】重复步骤1到步骤7的操作，直至衍射光栅非规则激光焦斑图像的面积最小时聚焦调整结束。