衍射光栅非规则激光焦斑图像自适应聚焦装置

摘要

本实用新型提供一种衍射光栅非规则激光焦斑图像自适应聚焦装置，包括激光器、激光衍射光栅、汇聚透镜、平面反射镜、CCD以及用于CCD轴向和水平方向移动的二维移动平台；激光器、激光衍射光栅、汇聚透镜、平面反射镜沿激光器出射光束的主光轴方向依次设置；激光衍射光栅设置在靠近汇聚透镜一侧且与汇聚透镜、平面反射镜相互平行。本实用新型能够快速的对大口径衍射光栅非规则激光焦斑进行聚焦调节，与人工方式相比检测效率在很大程度上得到提高，适用于大口径衍射光栅非规则焦斑自适应聚焦，也可作为各种衍射光栅非规则焦点离线位置自动判读的调整依据，具有较高的精确度和一致性。