交接位置示教方法、交接位置示教装置及基板处理装置

摘要

本发明提供对现有的基板处理装置的手部也能够准确地示教基板的交接位置的交接位置示教方法、交接位置示教装置以及基板处理装置。交接位置示教装置具有示教用基板，该示教用基板具有与被基板处理装置处理的半导体晶片等基板的形状相同的形状，并且在该示教用基板的表面上形成有导电性的涂层。另外，交接位置示教装置具有基座构件，在该基座构件的上表面上形成有基准线，并且在该基座构件的表面上形成有绝缘涂层。具有沿着铅垂方向延伸的柱状形状的入口用触点构件、入口用触点构件、Y方向用触点构件、Y方向用触点构件、X方向用触点构件分别立设在该基座构件上。