用于洁净室材料传输系统的狭窄宽度加载端口机构

摘要

一种传输基板的系统与方法包括加载端口系统包括：框架、关节臂、微环境、与在框架中基本上对中的塔。该塔包括多个马达，其中第一马达机械联接至该微环境以垂直移动该微环境，及第二马达机械联接至该关节臂以竖直移动该关节臂。塔壳也含括于其中。该塔壳粉笔这些马达使之和该微环境隔开。