在铜铟镓硒化合物工艺中增强的硒供给

摘要

本发明提供了一种用于在基板上沉积硒的系统，其包括：基板载具，该基板载具包括主体、保持基板的装置、以及形成在主体中用于将一流量的硒蒸汽导向至基板上的多个硒蒸汽排出口。硒供应容器将硒蒸汽提供至硒蒸汽排出口。至少一个温度传感器连接至基板载具，用于感测基板温度。热源被设置为加热基板。控制器连接至温度传感器和热源。本发明还公开了在铜铟镓硒化合物工艺中增强的硒供给。