法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q 10/04 申请日:20130916
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
机译: 用于连续过程中处理基板的系统,包括布置在系统两个相对端的锁定区域,布置在锁定区域之间的处理区域和运输单元
机译: 输送机系统具有在轨道上的运输车,直接和间接点控制区域以及用于处理运输车与区域之间的存储单元的过渡的接口
机译: 发电区域中的系统配置设备,发电区域中的系统配置方法和计算机可读记录介质