一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法，该装置包括照明点光源、扩束准直系统与CCD探测器，扩束准直系统位于照明点光源与偏光棱镜之间，照明点光源发出的自然光经扩束准直系统扩束准直后垂直入射到偏光棱镜，所述CCD探测器位于偏光棱镜反射光的出射方向，CCD探测器与计算机相连。该方法通过上述CCD探测器和计算机采集获得反射光干涉条纹光强的分布图样，根据干涉条纹光强的分布图样得出条纹间距，并利用以下算式计算得出胶合误差：