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编码器和编码器用编码盘以及编码盘及其模具的制造方法

摘要

提供了能探测绝对位置的高分辨率编码器用编码盘及其模具的制造方法。用透明基板形成的编码器用编码盘具有设于其上的在各个面上有不同图案的许多光道,以及设于这多个光道之间的与这多个光道上的上述各面高度相异的光道间区域;而上述模具制造方法包括下述各步骤:于第一材料上加工出各具有平坦面的许多光道、于此许多光道间加工出与上述平坦面有不同高度的光道间区域、对此第一材料的图案镀层、从此第一材料上剥离此镀层而获得模具。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2005-12-21

    授权

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  • 2003-10-22

    实质审查的生效

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  • 2003-08-06

    公开

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