公开/公告号CN104197966B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201410410714.X
申请日2014-08-20
分类号G01D5/26(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:53:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
授权
授权
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/26 申请日:20140820
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
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